- 题名/责任者:
- 集成电路制造工艺/孙萍主编
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-121-22899-5/CNY39.60
- 载体形态项:
- 11,280页:图;26cm
- 个人责任者:
- 孙萍 (技术教育) 主编
- 学科主题:
- 集成电路工艺-职业教育-教材
- 学科主题:
- 集成电路工艺
- 中图法分类号:
- TN405
- 中图法分类号:
- TN405
- 一般附注:
- “十二五”职业教育国家规划教材 全国高等职业教育规划教材·精品与示范系列
- 提要文摘附注:
- 本书从集成电路的制造工艺流程出发，系统介绍继承电路制造工艺的原理、工艺技术和操作方法等。全书共分4个模块11章，内容包括：集成电路制造工艺的发展与工艺流程、薄膜制备等。
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