MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 半导体材料/杨树人, 王宗昌, 王兢编著
- 版本说明:
- 第2版
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-03-012817-6/CNY29.00
- 载体形态项:
- 264页:图;24cm
- 个人责任者:
- 杨树人 编著
- 个人责任者:
- 王宗昌 编著
- 个人责任者:
- 王兢 编著
- 学科主题:
- 半导体材料-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN304
- 一般附注:
- 21世纪高等院校教材
- 著录信息附注:
- 据2007年1月第4次印刷著录
- 书目附注:
- 有书目 (第264页)
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理，工艺和特性的控制等，全书包括：硅和锗的化学制备，区熔提纯，晶体生长，硅、锗晶体中的杂质和缺陷，硅外延生长等11章。
- 使用对象附注:
- 从事与半导体相关研究工作的科研人员和相关专业研究生
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