MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：27
- 题名/责任者:
- 集成电路与等离子体装备/赵晋荣等编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2024
- ISBN及定价:
- 978-7-03-077546-7 精装/CNY168.00
- 载体形态项:
- 282页:图 (部分彩图);25cm
- 个人责任者:
- 赵晋荣 编著
- 学科主题:
- 集成电路
- 学科主题:
- 等离子刻蚀-设备
- 中图法分类号:
- TN4
- 中图法分类号:
- TN305.7
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍了集成电路中与等离子体设备相关的内容, 具体包括集成电路简史、分类和发展方向以及面临的挑战、气体放电的基本原理和典型应用、等离子体刻蚀机工艺与设备、等离子体表面处理技术与设备、物理气相沉积设备与工艺、等离子体增强化学气相沉积工艺与设备、高密度化学气相沉积工艺与设备、炉管设备与工艺等。
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