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MARC状态：审校　 文献类型：中文图书　浏览次数：20　

题名/责任者:
纳米集成电路制造工艺/张汝京等编著
出版发行项:
北京:清华大学出版社,2014
ISBN及定价:
978-7-302-36027-8/CNY69.00
载体形态项:
13,433页:图;26cm
并列正题名:
Nanoscale integrated circuits - the manufacturing process
个人责任者:
张汝京 编著
学科主题:
纳米材料-集成电路工艺
学科主题:
纳米材料
学科主题:
集成电路工艺
中图法分类号:
TN405
中图法分类号:
TN405
提要文摘附注:
本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性等项目和课题。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 附件 说明 书刊状态
TN405/4 000667533  - 六楼书库 图书定位    可借
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