机读格式显示(MARC)

• 000 01075nam0 2200289 450

• 001 0000528148

• 005 20201025141400.0

• 010 __ |a 978-7-302-51757-3 |d CNY68.50

• 092 __ |a CN |b 人天903-2817

• 100 __ |a 20191028d2019 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a y z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微系统设计导论 |A Wei Xi Tong She Ji Dao Lun |f (德)沃纳·卡尔·施默博格著 |g 董瑛等译

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2019.09

• 215 __ |a 230页 |d 26cm

• 330 __ |a 本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计，包括薄层、弹性元件(如膜片、微梁)、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等，并附大量的设计计算练习题。

• 333 __ |a 微电子技术设计相关人员

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 设计

• 690 __ |a TN40 |v 5

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |c (德) |a 沃纳·卡尔·施默博格 |A Wo Na·Qia Er·Shi Mo Bo Ge |4 著

• 702 _0 |a 董瑛 |A Dong Ying |4 译

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20191030

• 905 __ |a WXCSXY |d TN4/70=2