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• 010 __ |a 978-7-5684-0986-5 |d CNY35.00

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• 200 1_ |a 微电子工艺技术与仿真 |A wei dian zi gong yi ji shu yu fang zhen |f 王强主编

• 210 __ |a 镇江 |c 江苏大学出版社 |d 2018

• 215 __ |a 166页 |c 图 |d 26cm

• 330 __ |a 本书共8章，从微电子工艺的物理学、晶体学、器件基础开始没根据工艺的复杂程度深入浅出地介绍了晶圆材料的生长于制备、氧化/扩散工艺、光刻工艺、薄膜工艺、等离子工艺、工艺整合和太阳能电池工艺。

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 生产工艺

• 690 __ |a TN405 |v 5

• 701 _0 |a 王强 |A wang qiang |4 主编

• 801 _0 |a CN |b WXCSXY |c 20191024

• 905 __ |a WXCSXY |d TN405/14