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• 200 1_ |a 微机电系统技术 |9 wei ji dian xi tong ji shu |f 石庚辰编著

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2002

• 215 __ |a 22,217页 |c 图 |d 21cm

• 225 2_ |a 先进制造技术丛书 |A xian jin zhi zao ji shu cong shu

• 300 __ |a 由国防科技图书出版基金资助出版

• 330 __ |a 本书介绍微机电系统技术涉及的微机械学、微电子学、微光学、流体力学、自动控制等的学科内容，包括基本问题、常用材料、相关的集成电路制造技术等。

• 461 _0 |1 2001 |a 先进制造技术丛书

• 510 1_ |a Micro Electro Mechanical Systems |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 石庚辰 |A shi geng chen |9 shi geng chen |f (1950~) |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 91MARC |c 20130904

• 905 __ |a WXCSXY |d TM38/4