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• 200 1_ |a 电子工业生产技术手册 |A Dian Zi Gong Ye Sheng Chan Ji Shu Shou Ce |h 6 |i 半导体与集成电路卷 |f 《电子工业生产技术手册》编委会编

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1989

• 215 __ |a 696页 |d 20cm

• 330 __ |a 本书主要介绍各种半导体材料制备工艺,同时包括晶片加工工艺、材料的物理和化学性质等。

• 606 0_ |a 电子工业 |A Dian Zi Gong Ye |x 生产 |x 技术手册

• 606 0_ |a 半导体材料 |A Ban Dao Ti Cai Liao |x 生产 |x 技术手册

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• 711 02 |a 电子工业生产技术手册编委会 |A Dian Zi Gong Ye Sheng Chan Ji Shu Shou Ce Bian Wei Hui |4 编

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