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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 一本书读懂芯片制程设备 |A yi ben shu du dong xin pian zhi cheng she bei |f 王超 ... [等] 编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2023.02

• 215 __ |a 254页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 集成电路科学与技术丛书 |A ji cheng dian lu ke xue yu ji shu cong shu

• 304 __ |a 题名页题其余责任者: 姜晶, 牛夷, 王刚

• 314 __ |a 王超, 清华大学精密仪器系教授, 国家级人才称号获得者。

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域 (集成电路及专用设备) 等重大需求, 编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石, 是各国竞相角逐的“国之重器”, 也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游, 贯穿于芯片制造全过程, 是决定产业发展的最关键一环。

• 410 _0 |1 2001 |a 集成电路科学与技术丛书

• 606 0_ |a 芯片 |A xin pian |x 工业生产设备

• 690 __ |a TN43 |v 5

• 701 _0 |a 王超 |A wang chao |4 编著

• 701 _0 |a 姜晶 |A jiang jing |4 编著

• 701 _0 |a 牛夷 |A niu yi |4 编著

• 701 _0 |a 王刚 |A wang gang |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20230323

• 905 __ |a WXCSXY |d TN43/37