- 题名/责任者:
- 一本书读懂芯片制程设备/王超 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2023.02
- ISBN及定价:
- 978-7-111-72041-6/CNY99.00
- 载体形态项:
- 254页:图;24cm
- 丛编项:
- 集成电路科学与技术丛书
- 个人责任者:
- 王超 编著
- 个人责任者:
- 姜晶 编著
- 个人责任者:
- 牛夷 编著
- 个人责任者:
- 王刚 编著
- 学科主题:
- 芯片-工业生产设备
- 中图法分类号:
- TN43
- 题名责任附注:
- 题名页题其余责任者: 姜晶, 牛夷, 王刚
- 责任者附注:
- 王超, 清华大学精密仪器系教授, 国家级人才称号获得者。
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域 (集成电路及专用设备) 等重大需求, 编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石, 是各国竞相角逐的“国之重器”, 也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游, 贯穿于芯片制造全过程, 是决定产业发展的最关键一环。
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