MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：17
- 题名/责任者:
- 微系统设计导论/(德)沃纳·卡尔·施默博格著 董瑛等译
- 版本说明:
- 2版
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2019.09
- ISBN及定价:
- 978-7-302-51757-3/CNY68.50
- 载体形态项:
- 230页;26cm
- 个人责任者:
- (德) 沃纳·卡尔·施默博格 著
- 个人次要责任者:
- 董瑛 译
- 学科主题:
- 微电子技术-设计
- 中图法分类号:
- TN40
- 中图法分类号:
- TN4
- 提要文摘附注:
- 本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计，包括薄层、弹性元件(如膜片、微梁)、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等，并附大量的设计计算练习题。
- 使用对象附注:
- 微电子技术设计相关人员
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